SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法行业标准 PDF电子版现行 标准详情标准名称标准编号SJ/T 11503-2015代替标准号：标准简介SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法本标准规定了用表面轮廓仪和原子力显微镜测定碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的方法。 立即下载