GB/Z 43684-2024 纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

标准详情
  • 标准名称纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数
  • 标准编号GB/Z 43684-2024
    代替标准号:
标准简介

GB/Z 43684-2024标准界定了以光栅特征与标称位置偏差来解释光栅的全局和局部质量参数的通用术语,并提供了测定参数所用的测量与评价方法分类的指南,以及在纳米技术的不同应用领域保证生产和使用光栅质量的指南。

相近标准: