GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
- 标准名称真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序
- 标准编号GB/Z 42624-2023
- 代替标准号：
GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23℃时小于1×10-5Pa·m3·s-1（1×10-2Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。
GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23℃时小于1×10-5Pa·m3·s-1（1×10-2Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。