GB/T 43748-2024 微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

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标准名称微束分析透射电子显微术集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
标准编号GB/T 43748-2024
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标准简介

GB/T 43748-2024标准规定了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜(TEM/STEM)测定集成电路芯片中功能薄膜层厚度的方法。本文件适用于测定几个纳米以上厚度的集成电路芯片中功能薄膜层。

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