GB/T 43612-2023 碳化硅晶体材料缺陷图谱
- 标准名称碳化硅晶体材料缺陷图谱
- 标准编号GB/T 43612-2023
- 代替标准号：
GB/T 43612-2023标准规定了导电型 4H 碳化硅 ( 4H-SiC ) 晶体材料缺陷的形貌特征,产生原因和缺陷图谱。本文件适用于半导体行业碳化硅 ( 晶锭、衬底片、外延片及后续工艺 ) 的研发、生产及检测分析等环节。
GB/T 43612-2023标准规定了导电型 4H 碳化硅 ( 4H-SiC ) 晶体材料缺陷的形貌特征,产生原因和缺陷图谱。本文件适用于半导体行业碳化硅 ( 晶锭、衬底片、外延片及后续工艺 ) 的研发、生产及检测分析等环节。