GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
- 标准名称碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法
- 标准编号GB/T 42905-2023
- 代替标准号：
GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。本文件适用于n型掺杂浓度大于 1×10¹⁸ cm⁻³ 的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于 1×10¹⁶ cm⁻³ 的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为 3 μm～200 μm 。
GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。本文件适用于n型掺杂浓度大于 1×10¹⁸ cm⁻³ 的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于 1×10¹⁶ cm⁻³ 的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为 3 μm～200 μm 。