GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
- 标准名称碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法
- 标准编号GB/T 42902-2023
- 代替标准号：
GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。
GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。