GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
- 标准名称微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
- 标准编号GB/T 42895-2023
- 代替标准号：
GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。
GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。