GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
- 标准名称硅片表面光泽度的测试方法
- 标准编号GB/T 42789-2023
- 代替标准号：
GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。