GB/T 42709.5-2023 半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关
- 标准名称半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频 MEMS 开关
- 标准编号GB/T 42709.5-2023
- 代替标准号：
GB/T 42709.5-2023 半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号，描述了参数测试方法。
GB/T 42709.5-2023 半导体器件 微电子机械器件 第5部分：射频MEMS开关本文件界定了用于评估和确定射频MEMS开关的基本额定值和特性的术语、定义和符号，描述了参数测试方法。