GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
- 标准名称纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
- 标准编号GB/T 42106-2022
- 代替标准号：
GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、 材料与设备、环境条件、加工方法。
GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法本文件描述了离子束辐照诱导应变技术构建三维纳米结构与器件的加工方法，主要包括加工原理、 材料与设备、环境条件、加工方法。