GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环国家标准 PDF电子版现行 标准详情标准名称标准编号GB/T 41652-2022代替标准号：标准简介GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。 立即下载