GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
- 标准名称
- 标准编号集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片
- 代替标准号:
GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片PDF电子版免费下载,GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片本标准规定了低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片(以下简称Low-COP抛光片)的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
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