GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法国家标准 PDF电子版现行 标准详情标准名称标准编号GB/T 41153-2021代替标准号：标准简介GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法本文件规定了碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的二次离子质谱测试方法。 立即下载