GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
- 标准名称
- 标准编号硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
- 代替标准号：
GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法PDF电子版免费下载，GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法标准规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜厚度的方法。
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