GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

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  • 标准名称
  • 标准编号GB/T 36969-2018
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标准简介

GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。

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