GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南国家标准 PDF电子版现行 标准详情标准名称半导体制造用气体处理指南标准编号GB/T 34971-2017代替标准号：标准简介GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。 立即下载