GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性
- 标准名称产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性
- 标准编号GB/T 33523.603-2022
- 代替标准号：
GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性本文件规定了相移干涉法（PSI）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。