GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅
- 标准名称硅外延用三氯氢硅
- 标准编号GB/T 30652-2023
- 代替标准号：替代 GB/T 30652-2014
GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅标准最新版代替GB/T 30652-2014《硅外延用三氯氢硅》，本文件规定了硅外延用三氯氢硅（ SiHCl₃ ）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。
GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅标准最新版代替GB/T 30652-2014《硅外延用三氯氢硅》，本文件规定了硅外延用三氯氢硅（ SiHCl₃ ）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。