GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
- 标准名称
- 标准编号硅外延用三氯氢硅
- 代替标准号：
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅PDF电子版免费下载，GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单 (或合同)内容。
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