GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
- 标准名称洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级
- 标准编号GB/T 25915.9-2018
- 代替标准号：
GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。
GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。