GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
- 标准名称洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性
- 标准编号GB/T 25915.15-2022
- 代替标准号:
GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。
GB/T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。