GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
- 标准名称洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
- 标准编号GB/T 25915.13-2022
- 代替标准号：
GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。
GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。