GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

标准详情
  • 标准名称
  • 标准编号GB/T 24581-2022
    代替标准号:
标准简介

GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法替代GB/T 24581-2009《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法》。

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