GB/T 14264-2024 半导体材料术语
- 标准名称半导体材料术语
- 标准编号GB/T 14264-2024
- 代替标准号：替代 GB/T 14264-2009
GB/T 14264-2024半导体材料术语标准最新版代替GB/T 14264-2009《半导体材料术语》，本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义，以及缩略语。
GB/T 14264-2024半导体材料术语标准最新版代替GB/T 14264-2009《半导体材料术语》，本文件界定了半导体材料的一般术语和定义，材料制备与工艺及缺陷的术语和定义，以及缩略语。