GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
- 标准名称
- 标准编号硅外延层载流子浓度的测试
- 代替标准号：
GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法PDF电子版免费下载，GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法替代GB/T 14146-2009《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》。本文件规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。
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